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權(quán)威快報(bào)｜芯片制造關(guān)鍵設(shè)備再突破,！離子注入機(jī)實(shí)現(xiàn)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化

發(fā)布時(shí)間：2021-03-17 11:10:00

　　中國電子科技集團(tuán)有限公司17日對外公布,，該集團(tuán)旗下裝備子集團(tuán)攻克系列“卡脖子”技術(shù)，已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，包括中束流,、大束流,、高能,、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī),，工藝段覆蓋至28nm，為我國芯片制造產(chǎn)業(yè)鏈補(bǔ)上重要一環(huán),，為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案,。（記者溫競?cè)A，海報(bào)設(shè)計(jì)：賈伊寧）